Die FHR Anlagenbau GmbH ist ein innovatives Unternehmen im Bereich der Vakuumprozesstechnologie und des Sonderanlagenbaus. Eine Gruppe Dresdener Ingenieure mit langjähriger persönlicher Erfahrung in der Dünnschichttechnik gründete 1991 das Unternehmen mit dem Ziel, moderne Schichttechnologien in maßgeschneiderte Anlagenkonzepte umzusetzen. Die FHR Anlagenbau GmbH hat sich seither zu einem anerkannten und erfolgreichen Unternehmen entwickelt mit weltweitem Kundenkreis in Forschung und Industrie. Zu den Schlüsseltechnologien der FHR Anlagenbau GmbH gehören: - Reaktives und nicht-reaktives Magnetron-Sputtern, Bedampfen, CVD und PECVD für das hocheffiziente Abscheiden von Metallen, Oxiden und Nitriden - Plasmaunterstütze Ätztechnologien für Oberflächenbehandlung und ultraeffizienten Materialabtrag (Hochrate-Ätzen) - Blitzlampentemperung (Flash Lamp Annealing) für die Behandlung und Modifikation von Halbleitern, Metallen, Keramiken, Nanostrukturen und photonischen Werkstoffen - Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition) für das Abscheiden ultradünner Funktionsschichten homogener Schichtdicke auf komplexen 3D-Oberflächenstrukturen Neben Cluster-Systemen und Rolle-zu-Rolle-Anlagen für die Behandlung und Beschichtung kleinflächiger oder flexibler Substrate liefert FHR angepasste Inline-Systeme für die Großflächenabscheidung und ist Anbieter hochwertiger, gebondeter Sputtertargets. Die FHR Anlagenbau GmbH beschäftigt heute etwa 160 Mitarbeiter am Standort Ottendorf-Okrilla und gehört seit 2008 zur centrotherm photovoltaics AG, einem international führenden Anbieter von Technologie und Dienstleistungen für die Herstellung von Solarzellen und Solarsilizium.
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